-- ?? 3D ?? ????? ??? ??, ??? ? ???? ???? ?? ?? ???

?????, ???, 2014? 2? 10? /PRNewswire/ -- ??? ??? ?? ?? ??? ??? ?? ?? ??? ???? ?????(Axcelis Technologies, ???: ACLS)? ?? ??? ??? ?? ???? Purion? ???? ??? ??? 2014?? ????? ???. ?????? ???? ?? ??? ?? ?? ? ??? ? ??? ???? ??? ??? ??? ???? 2? 12?-14?? ?? ????. ? ???? 20????? ?530? ??? ???? ????, ???? ???? ???? ??? ?? ? ?? ? ??? ?? ?? ?? 1737?? ??? ????.

(??: )

????? ? ??? ??? ? ??(Bill Bintz)? "??? ??? ??? ???? ??? ???? ???? Purion ???? ???? ?? ?? ???. ??? ??? ??? ?? ?? ??? ?? ? ????, ??? ??? ??? ?????? ??. 16nm 3D ?? ?? ??? ?? ???? ?? ??? ??? ?? ?? ???? ???? ??? ??? ???"? ???.

? ??? ??? ?? ??? D? 5506? ???? ???? ???? ????? ???? ??. Axcelis Purion? ???? ?? ??? ????? ?? ??? ?? ? ??.

• ??? 3D ??? ?? ??? ?? ??? ???? ?? ???, Purion M? mid current implanter, Purion H? high current implanter ? Purion XE? high energy implanter
• ?? ??? ???? ?? ?? ??, ??? ? ?? ?? ??, ??? ??? ???? Purion Contamination Shield?
• ??? ?? ?????? ?? ??? ?? ? ??? ???? ??? ? ?? Purion Vector? ?/?? ?? ???
• ?? ??? ???? ?? ???? ???? ??, ??? ??? ????, Purion 500wph endstation

????(Axcelis)?? ??
????(???: ACLS)? ?? ?????, ???? ??? ?? ??? 35? ?? ??? ???? ???? ??? ???? ?????. ????? IC ?? ???? ?? ??? ?? ? ????, ? ?? ??? ??? ?? ?? ?? ???? ???, ?? ? ?? ?? ?? ??? ?? ?? ???? ??? ????. ????? ?? ??? ??? ????()?? ??? ? ??.

??:
?? ??(Maureen Hart) (???/???) +1-978-787-4266
?? ??(Doug Lawson) (??? ??) +1-978-787-9552